基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面 基板材料：石英、硅、zero dewer等 多层膜材料：Mo/Si（50eV至100eV）、Ru/Si（50eV至100eV）、Zr/Al（50eV至70eV）、SiC/Mg（25eV至50eV）、Cr/C（至300eV）等 基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米...
基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面 基板材料：石英、硅、zero dewer等 多层膜材料：Mo/Si（50eV至100eV）、Ru/Si（50eV至100eV）、Zr/Al（50eV至70eV）、SiC/Mg（25eV至50eV）、Cr/C（至300eV）等 基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米...
基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面 基板材料：石英、硅、zero dewer等 多层膜材料：Mo/Si（50eV至100eV）、Ru/Si（50eV至100eV）、Zr/Al（50eV至70eV）、SiC/Mg（25eV至50eV）、Cr/C（至300eV）等 基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米...
掠入射反射镜可用于高能X射线和宽带XUV光源的转向和聚焦。定制化椭球反射镜和超环面反射镜可用于阿秒光谱成像以及其他XUV应用。掠入射多层膜反射镜可用于X射线单色仪。...
